Analisi e caratterizzazione fino alla scala nanometrica con microscopie di tipo ottiche, a scansione di sonda (AFM), di elettroni (SEM) e di gate (SGM), profilometrie ottiche e a stilo, per dispositivi e sistemi di tipo elettronico e fotonico.
ATTREZZATURE FINANZIATE DAL PROGETTO:
Sistema di microscopia ottica ad alta risoluzione (UV) con stage motorizzato da 6 pollici